六氟化硫SF6微水露點(diǎn)儀主要是用來(lái)檢測(cè)高壓變壓器、高壓開(kāi)關(guān)柜、高壓斷路器等電力設(shè)備以及化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等電子工業(yè)中的六氟化硫SF6的微量水蒸氣濕度的濃度值。SF6微水儀主要可以分為固定在線式和便攜手持式兩種類型，采用高分子薄膜電容法原理，可以快速準(zhǔn)確檢測(cè)出六氟化硫SF6中的微量水分含量。六氟化硫濕度水分露點(diǎn)儀可以同時(shí)檢測(cè)并顯示六氟化硫SF6的露點(diǎn)溫度、ppmv體積比、g/m3絕對(duì)水含量，廣泛適用于氟與硫直接反應(yīng)并經(jīng)過(guò)精制的工業(yè)六氟化硫中濕度水分露點(diǎn)溫度的檢測(cè)。